滅菌是個絕對概念，意為完全殺滅所處力微生物，經過滅菌處理的物品可以直接進入人體無菌組織內而不會引起感染，因此，滅菌是最徹底的消毒。等離子體滅菌技術是新一代的滅菌技術，是醫療衛生、制藥、生物工程、食品行業滅菌拘束的未來發展方向。
在醫療設備中有一個比較典型的應用，真空低溫消毒設備（低溫等離子滅菌器），是適用于不耐熱、不耐濕的金屬、非金屬的精密診療器械和用品的滅菌。在這個設備運行中真空階段，SUAY30真空/絕壓變送器起了至關重要的作用，全程控制滅菌室內的真空（絕對）壓力，以保證滅菌過程的有效性。
壓力量程：絕壓0-10MPa（任選）
精度等級：0.5%，0.25%，0.15%，0.1%，0.075%
輸出信號：4-20mA，0-5V，0-10V，數字信號，4-20mA（線與功能/HART）
壓力接口：M20*1.5，G1/4，G1/2、KF16（可定制）
測量介質：與316L兼容的氣體、液體
注：用戶對外形尺寸、測量介質（如高溫介質、腐蝕性介質、粘稠介質、粉塵介質）、使用環境（如抗干擾、防爆、顯示等）有要求，可與技術人員聯系。
第一、真空階段：
啟動真空泵，滅菌室內壓力約4—5分鐘由原來2700Pa下降到<60Pa，進入真空保壓、預等離子階段，去濕，滅菌預備，在程序設置時間內壓力一直維持在60Pa上下，高頻射頻源激發產生等離子體。
第二、擴散階段：
經汽化過氧化氫注入滅菌室后迅速擴散，滅菌室內壓力上升至800~2300pa并維持在這個水平直到擴散到階段I完成。當滅菌室被真空泵抽成60pa以下真空后，打開裝有過氧化氫（H2O2）的容器與滅菌室之間的閥門，液體狀的H2O2經氣化室加熱至40℃后，氣化擴散至滅菌室的整個空間。
第三、真空階段：
H2O2本身具有較強的殺菌作用，在H2O2擴散過程中可殺死被處理物品表面的部分細菌病毒。擴散完后先換氣，導入經無菌過濾器處理的空氣，滅菌室內壓力恢復到大氣壓；約40秒后開始抽真空，至壓力小于60pa。
第四、等離子階段：
滅菌室與網狀不銹鋼電極之間加上高頻電壓后，滅菌室中的H2O2在高頻電場的作用下，被分離為帶電粒子，形成等離子體，等離子體形成過程中產生大量紫外線，直接破壞微生物的基因物質。能夠摧毀微生物和擾亂微生物的生存功能，達到滅菌目的，滅菌室內壓力維持在60Pa上下，高頻射頻源激發產生等離子體。
第五、回空階段：
空氣經無菌過濾器進入滅菌室后，壓力恢復到大氣壓．程序結束。
等離子滅菌的第一個階段就是真空階段：通過真空泵將滅菌艙內的空氣抽出，直到達到等離子體放電的真空條件，同時可以去除滅菌物上的濕氣。在這個過程中我們的SUAY30系列真空壓力變送器會實時監測滅菌艙內的壓力，直至達到等離子體放電的條件。真空期結束后，進入注液擴散階段，完成滅菌過程。
